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本发明公开了一种晶圆夹取装置，包括：夹持臂，所述夹持臂上设有两对卡爪，所述夹持臂用于被操纵置于腔体中的脱离允许运动范围的晶圆上方，所述两对卡爪用于受驱动在所述夹持臂上运动，并分别从两个不同方向对晶圆的侧面进行夹取以拿出。本发明能实现对晶圆的...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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