下载半导体器件、半导体器件的制作方法以及三维存储器的技术资料

文档序号:40643025

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本申请提供了一种半导体器件、半导体器件的制作方法以及三维存储器。该器件包括衬底、栅极结构以及两个外延部,其中,栅极结构位于衬底的部分表面上;两个外延部分别位于栅极结构的两侧的衬底中,外延部的预定截面的形状在靠近栅极结构的一侧具有至少两个尖角...
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