下载吸盘及半导体器件加工设备的技术资料

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本技术揭示了吸盘及半导体器件加工设备,其中吸盘包括多个顶板及底板,每个顶板上形成有至少一个通孔,不同顶板上的通孔的形状不同,底板可与多个顶板中的任一可拆卸且密封连接,顶板与底板密封连接时,顶板上的每个通孔与底板构成一工件限位槽,底板上形成有...
该专利属于江苏京创先进电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏京创先进电子科技有限公司授权不得商用。

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