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本技术公开了一种晶圆承载装置。上述承载装置包括用于承托晶圆的石英舟体、贯通开设在所述石英舟体上的反应气体流通腔、装设在所述石英舟体上的载物柱、开设在所述载物柱上用于定位晶圆的插槽、装设在所述石英舟体舟底处的四组支撑脚、以及固定安装在对应支撑...
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