下载半导体装置及半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:40635399

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本发明涉及半导体装置及半导体装置的制造方法。对饱和电流的增加进行抑制。半导体装置具有:第1沟槽,其设置为从第1杂质层的上表面到达第1半导体层内;第2沟槽,其设置为从第2杂质层的上表面到达比第1半导体层的下表面更靠下方处;第1导电型的第2半导...
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