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陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:40630034
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一种陶瓷接合体,其具备:一对陶瓷板;电极层,存在于一对陶瓷板之间;及接合层,配置于一对陶瓷板之间的电极层的周围,一对陶瓷板中的至少一个及接合层由绝缘性物质与导电性物质的复合体构成,在电极层的外缘与接合层的内缘之间设置有间隙,一对陶瓷板中的至...
该专利属于住友大阪水泥股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过住友大阪水泥股份有限公司授权不得商用。
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