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本技术公开了一种托盘结构及其外延生长设备，该托盘结构包含：基座，其可设置于一旋转座上，所述基座的上表面包含一限位结构，所述限位结构包围形成一凹陷部；衬底支撑件，至少部分地位于所述凹陷部内，用于承载一衬底，所述衬底支撑件包括环绕衬底的内侧壁和...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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