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本发明的水分散液中包含的无机颗粒由晶体与无定形的小粒子的凝聚而成，并且其为球形且呈现出光滑的表面。无机颗粒的球形外观、低结晶度及窄的粒度分布更有利于减少CMP工艺中的划痕缺陷。另外，无机颗粒表面上的小粒子提供了更多的活性位点导致无机颗粒具有...
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