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一种在空气环境中的铜-铜低温直接键合方法技术
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文档序号:40629201
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本发明属于三维封装技术领域,公开了一种在空气环境中的铜‑铜低温直接键合方法,包括以下步骤:首先,在空气环境中,利用丙三醇对清洁的镀铜键合体的镀铜面进行预处理,得到待键合的镀铜键合体;然后,在空气环境中,对待键合的镀铜键合体进行加压键合。本发...
该专利属于安徽大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽大学授权不得商用。
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