下载一种在空气环境中的铜-铜低温直接键合方法的技术资料

文档序号:40629201

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于三维封装技术领域,公开了一种在空气环境中的铜‑铜低温直接键合方法,包括以下步骤:首先,在空气环境中,利用丙三醇对清洁的镀铜键合体的镀铜面进行预处理,得到待键合的镀铜键合体;然后,在空气环境中,对待键合的镀铜键合体进行加压键合。本发...
该专利属于安徽大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。