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本公开提供了一种检测晶圆缺陷的方法、装置、系统及介质；该方法包括：在待测晶圆表面的灰度图像中，基于像素点灰阶值筛选出存在缺陷的图像区域；根据所述图像区域的短轴长度值与长轴长度值之间的第一比值，从筛选出的存在缺陷的图像区域中选取出候选图像区域...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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