温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及制备盘装碳/碳复合材料工装的领域，尤其是涉及一种可用于沉积碳的化学气相沉积炉工装，其包括底炉盘、顶炉盘、底炉盘上的进气孔与顶炉盘上的出气孔、缓流底盘与缓流顶盘，缓流底盘的外壁与底炉盘内壁贴合；缓流口，缓流口穿设在缓流底盘的中心，用...
该专利属于江油天启智和科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江油天启智和科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。