温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种全自动晶圆裂片设备，包括机台以及设于机台上的工位装置、第一供料装置、第二供料装置、第一进料装置、第二进料装置、裂片装置、出料装置。工位装置设有驱动转动的载台；第一供料装置位于工位装置的前左侧；第一进料装置位于工位装置前侧。第...
该专利属于苏州天弘激光股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天弘激光股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。