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一种多晶硅还原炉底盘用垫片结构制造技术
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文档序号:40617241
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本技术涉及多晶硅生产设备技术领域,尤其涉及一种多晶硅还原炉底盘用垫片结构。主要技术方案为:一种多晶硅还原炉底盘用垫片结构,包括:支撑部、内侧密封部和外侧密封部;支撑部为圆环形结构;内侧密封部为圆环形结构;内侧密封部与支撑部同轴设置;内侧密封...
该专利属于内蒙古大全新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古大全新能源有限公司授权不得商用。
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