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本发明涉及一种晶圆研磨用硅溶胶晶种生长控制方法、系统及介质，所述方法包括：U1.在反应釜中，打开硅酸计量泵按设定速度加入定量硅酸，同时打开稳定剂计量泵加入碱性稳定剂进行调节PH值，搅拌器按照一定速度进行搅拌，并加热至一定温度进行反应，保温一...
该专利属于湖北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖北工业大学授权不得商用。

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