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提出用于化学机械研磨的研磨头以及使用研磨头的研磨方法。根据本发明实施例，一种用于化学机械研磨的研磨头包括：研磨部，所述研磨部包括第一研磨表面；研磨销，所述研磨销嵌在所述研磨部中，并且包括第二研磨表面；驱动装置，所述驱动装置连接至所述研磨销，...
该专利属于英特尔NDTM美国有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔NDTM美国有限公司授权不得商用。

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