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一种压印装置包括：用于承载柔性印模的第一承载件，以及能够相对于第一承载件移动且被配置成承载具有抗蚀剂层的衬底的第二承载件。第二承载件包括卡盘和用于在Z轴方向上平移卡盘的一部分的一组卡盘致动器，每个卡盘致动器包括致动器输出端以及位于致动器输出...
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