压印装置制造方法及图纸

一种压印装置包括：用于承载柔性印模的第一承载件，以及能够相对于第一承载件移动且被配置成承载具有抗蚀剂层的衬底的第二承载件。第二承载件包括卡盘和用于在Z轴方向上平移卡盘的一部分的一组卡盘致动器，每个卡盘致动器包括致动器输出端以及位于致动器输出端与卡盘驱动构件之间的杠杆布置结构。与使用致动器输出端直接控制位置相比，杠杆布置结构能够实现定位准确度的提高和刚度的增加。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种利用柔性印模上的压印图案来压印抗蚀剂层的装置。

技术介绍

1、在ep 3126909a中公开的类型的压印光刻技术，作为更传统的基于掩膜的光学光刻技术的可行替代技术，正在获得关注，因为压印光刻技术有望在待大面积转移到衬底(例如半导体器件的衬底)上的图案中提供(更)小的特征尺寸。在诸如衬底共形压印光刻(“scil”)等压印光刻技术中，柔性印模(包括其表面的特征浮雕图案)与通常带有抗蚀剂材料的衬底接触。抗蚀剂材料由特征图案压印。随后，抗蚀剂材料显影(例如固化)，其后特征图案从抗蚀剂材料中释放出来，以在衬底上留下图案化的抗蚀剂层。

2、在该工艺中，可固化但流动的抗蚀剂层被施加到支撑在卡盘上的衬底(例如晶片)上。柔性印模例如是橡胶，而抗蚀剂层可以在被压印的同时固化(凝固)，以便在印模从抗蚀剂层上移除后在抗蚀剂层上留下与印模浮雕层的浮雕互补的凝固的浮雕。压印过程需要将薄柔性印模(例如，由粘附在薄柔性板(例如金属板或玻璃板)上的pdms橡胶层形成，而pdms层的浮雕表面与玻璃板侧相对)布置在印模操纵器上。这种印模操纵器也被称为凹槽板。这就提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压印装置(100)，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一枢轴(912)包括在所述固定杠杆部分和所述可移动杠杆部分之间的挠曲枢轴。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述卡盘驱动构件(910)包括第二枢轴(960)，在所述第二枢轴处所述卡盘驱动构件连接所述可移动杠杆部分。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第二枢轴(960)包括挠曲枢轴。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的装置，其中，所述杠杆布置结构通过可调整的弹簧布置结构(906)被朝向第一保持件偏压。

6.根据权利要求1至5中的任一项所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种压印装置(100)，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一枢轴(912)包括在所述固定杠杆部分和所述可移动杠杆部分之间的挠曲枢轴。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述卡盘驱动构件(910)包括第二枢轴(960)，在所述第二枢轴处所述卡盘驱动构件连接所述可移动杠杆部分。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第二枢轴(960)包括挠曲枢轴。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的装置，其中，所述杠杆布置结构通过可调整的弹簧布置结构(906)被朝向第一保持件偏压。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的装置，其中，所述杠杆布置结构包括力传感器(920)，所述力传感器用于监测通过所述杠杆布置结构在所述致动器输出端和所述卡盘驱动构件之间传递的力。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述杠杆布置结构包括分割间隙(930)，所述分割间隙终止于凹口挠性结构处，且所述力传感器安装在所述分割间隙处。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的装置，其中，所述装置包括：

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述第二承载件还包括子框架(600)，其中所述子框...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·M·M·J·珀蒂，M·A·维尔斯储雷恩，J·B·M·苏滕斯，W·J·E·埃弗斯，M·L·J·扬森，
申请(专利权)人：皇家飞利浦有限公司，
类型：发明
国别省市：