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一种干涉式位移测量装置(100)，包括至少一个测量干涉仪(103)，用于测量测量光束(150)与参考光束之间的光程差的变化。光源模块(118)被设置为生成具有特定光谱的调制光束，测量光束和参考光束是从该调制光束导出的。数据采集和分析模块(1...
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