下载高电子迁移率晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:40606086

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本发明公开一种高电子迁移率晶体管及其制作方法,其中该制作高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)的方法,主要包括先形成一缓冲层于基底上,然后形成一阻障层于该缓冲层上,形成一P型半导体...
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