下载一种梳状籽晶及其应用的技术资料

文档序号:40604797

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本发明属于半导体材料制备技术领域,具体涉及一种梳状籽晶及其应用。该梳状籽晶包括:籽晶杆、籽晶主体和籽晶齿,籽晶主体一端设有籽晶杆,另一端设有籽晶齿,籽晶齿的数量≥2。将本发明提供的梳状籽晶作为氧化镓导模法生长氧化镓晶体中的引晶材料,可以通过...
该专利属于北京镓和半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京镓和半导体有限公司授权不得商用。

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