下载探针位置偏离检测方法及ICT装置的技术资料

文档序号:40603965

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本申请实施例公开了一种探针位置偏离检测方法及ICT装置。该方法应用于测试平台,包括:控制设置于夹具的N个探针接触检测板的表面,检测板的表面中M个第一区域的阻抗均大于或均小于检测板的表面中除该M个第一区域外的第二区域的阻抗,该N个探针中的M个...
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