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一种金刚石半导体器件的制备方法技术
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文档序号:40602881
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一种金刚石半导体器件的制备方法,解决现在生产方法生产成本较高的问题。其包括如下步骤:S1,制备衬底;S2,在衬底上制备介质层;S3,在介质层上生长外延层;S4,在外延层上沉积多晶金刚石层;S5,将外延层和介质层剥离,将衬底回收;S6,在外延...
该专利属于河南鸿泰钻石科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南鸿泰钻石科技有限公司授权不得商用。
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