下载太阳能电池及其梯度温度沉积的扩散工艺的技术资料

文档序号:40601015

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本发明提供了一种太阳能电池及其梯度温度沉积的扩散工艺,涉及太阳能电池的技术领域,包括以下步骤:P型硅片在梯度升温的条件下先依次进行第一沉积、第二沉积以及第三沉积,然后进行推进制结,之后依次在790~810℃和760~780℃的温度下进行第四...
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