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本发明涉及玻璃碳涂层加工技术领域,具体涉及一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,包括以下步骤:S1:选用具有特定孔隙率的石墨材料作为基材;S2:对石墨基材进行表面清洁和预热处理;S3:按特定比例配制酚醛树脂溶液,控制溶液的粘度和浓度;S4:将...该专利属于江苏恒程半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏恒程半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及玻璃碳涂层加工技术领域,具体涉及一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,包括以下步骤:S1:选用具有特定孔隙率的石墨材料作为基材;S2:对石墨基材进行表面清洁和预热处理;S3:按特定比例配制酚醛树脂溶液,控制溶液的粘度和浓度;S4:将...