【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及玻璃碳涂层加工,尤其涉及一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺。
技术介绍
1、石墨材料因其独特的物理和化学特性,在众多工业领域中被广泛应用,尤其是在高温或腐蚀性环境下的应用,如sic晶体生长,然而,石墨的多孔性质(孔隙率通常在10%至15%之间)使其易于被腐蚀性气体侵蚀,导致材料结构快速损耗,这一挑战要求通过技术创新以提高石墨材料在极端条件下的耐腐蚀性和稳定性。
2、传统上,石墨材料的保护方法包括热解碳涂层和sic涂层,热解碳涂层虽然能均匀覆盖石墨材料表面,但由于其与石墨基材结合力不足,使用过程中易发生剥落,导致保护失效,另一方面,sic涂层能够提供更好的保护效果,但其生产成本高昂,且在生产过程中容易产生hcl等腐蚀性气体,对设备及环境保护要求高。
技术实现思路
1、基于上述目的,本专利技术提供了一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺。
2、一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,包括以下步骤:
3、s1:选用具有特定孔隙率的石墨材料作为基材;
>4、s2:对本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述特定孔隙率为10%-15%。
3.根据权利要求2所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述S2中对石墨基材进行表面清洁和预热处理具体包括:
4.根据权利要求3所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述S3具体包括:
5.根据权利要求4所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述S4中进行浸渍处理具体步骤为:
6.根据权利要
...【技术特征摘要】
1.一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述特定孔隙率为10%-15%。
3.根据权利要求2所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述s2中对石墨基材进行表面清洁和预热处理具体包括:
4.根据权利要求3所述的一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺,其特征在于,所述s3具体包括:
<...【专利技术属性】
技术研发人员:钱恒亮,
申请(专利权)人:江苏恒程半导体材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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