下载用于降低多晶硅锭中碳含量的多晶硅铸锭炉改进方法的技术资料

文档序号:40600929

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于降低多晶硅锭中碳含量的多晶硅铸锭炉改进方法,该改进方法在原多晶硅铸锭炉的基础上进行,包括:将原底部为完全开放的直筒式进气接口改进为底部非完全开放,仅在底部和侧壁上设置有若干进气孔的多孔式进气接口;该多孔式进气接口设置于进气伸缩筒的内...
该专利属于宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。