下载利用热对流作用防止微粒附着于基板的固晶方法的技术资料

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一种利用热对流作用防止微粒附着于基板的固晶方法,包括下列步骤:一基板设置于一吸盘上,基板的表面无锡球且无铜柱;一加热装置对基板加热,基板的表面温度比基板周围的空气的温度高,使得基板周围的空气产生热对流作用;拾取一晶粒,晶粒的表面无锡球且无铜...
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