下载一种OPA芯片端面超声波抛光系统的技术资料

文档序号:40599530

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本发明公开一种OPA芯片端面超声波抛光系统,涉及芯片加工技术领域;包括底座,底座上设置有超声波抛光箱和清洁箱;在底座上设置有定位工装件,用于定位安装工件;定位工装件包括滑动安装在底座上的滑座,滑座上固定连接有安装架,安装架上旋转安装有转盘,...
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