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本发明提供分辨率和光罩错误增强因子优异的化学增幅型抗蚀剂组合物。当在抗蚀剂组合物中使用式（Ａ１）所示盐作为酸产生剂时，可以达成上述目的。［式（Ａ１）中，Ｚ＋表示有机阳离子；Ｑ１和Ｑ２各自独立地表示氟原子或全氟烷基；Ｒａ１表示２价的环式脂肪族...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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