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一种下炉腔与上炉腔闭合分离稳定的晶硅铸锭炉制造技术
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下载一种下炉腔与上炉腔闭合分离稳定的晶硅铸锭炉的技术资料
文档序号:40595133
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本发明公开了晶硅铸锭炉技术领域的一种下炉腔与上炉腔闭合分离稳定的晶硅铸锭炉,包括上炉体,上炉体下方设有下炉体,上炉体左右侧壁设有升降组件,上炉体底部设有安装板,安装板底部开设有与下炉体相匹配的密封槽,密封槽内滑动连接设有密封板,密封槽内顶部...
该专利属于江苏德润光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏德润光电科技有限公司授权不得商用。
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