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一种晶态可控MIL-68(Fe)的硫化氢室温传感器制造技术
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下载一种晶态可控MIL-68(Fe)的硫化氢室温传感器的技术资料
文档序号:40594477
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本发明涉及纳米材料制备的技术领域,具体涉及一种晶态可控的MIL‑68(Fe)高选择性硫化氢室温传感器,包括:绝缘衬底、设置于绝缘衬底上的金叉指电极和设置于金叉指电极上的MIL‑68(Fe)气敏薄膜;其中MIL‑68(Fe)气敏薄膜为晶态MI...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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