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本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及到一种静电卡盘。该静电卡盘包括定位盘，定位盘具有卡盘表面，卡盘表面上设置有多个周向气槽、多个径向气槽以及多个分割气槽，其中，多个周向气槽由卡盘表面的中心孔为中心，向卡盘表面的边缘部扩散，多个径向气槽自靠...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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