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本发明涉及晶圆工件台高度控制技术领域，具体涉及一种晶圆工件台高度自适应控制方法及控制系统，包括如下步骤：记录工件台在基准高度时的光栅图像作为参考图像，此时晶圆表面高度为参考高度；调整工件台高度，对光栅图像进行实时采集；对实时采集的光栅图像和...
该专利属于苏州矽视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽视科技有限公司授权不得商用。

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