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本发明提供了一种用于反应腔体的气浮旋转机构，其属于半导体设备技术领域，其包括气浮组件、磁致联轴器和驱动组件，气浮组件包括转子组件和定子，定子呈环状套设于转子组件外侧，定子设置有输送气体的气道，气体通过气道在定子与转子组件之间形成气膜；转子组...
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