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本发明提供一种图像传感器的形成方法,所述图像传感器的像素区域周围包括至少一层隔热层,形成方法包括:于半导体衬底的正面形成浅沟槽隔离;根据预设的光刻图形,刻蚀所述半导体衬底的背面至所述浅沟槽隔离,于所述图像传感器像素区域周围形成第一沟槽;在所...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种图像传感器的形成方法,所述图像传感器的像素区域周围包括至少一层隔热层,形成方法包括:于半导体衬底的正面形成浅沟槽隔离;根据预设的光刻图形,刻蚀所述半导体衬底的背面至所述浅沟槽隔离,于所述图像传感器像素区域周围形成第一沟槽;在所...