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本申请提供一种半导体物料搬运系统,所述系统包括:相互平行设置的第一主轨道和第二主轨道,以及位于所述第一主轨道和第二主轨道之间且连接所述第一主轨道和第二主轨道的第一副轨道和第二副轨道;晶圆存储架,靠近所述第一副轨道与所述第二主轨道连接的连接端...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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