下载晶体硅太阳能电池片控制二氧化硅厚度的方法的技术资料

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本发明涉及晶体硅太阳能电池领域,尤其是晶体硅太阳能电池片控制二氧化硅厚度的方法,其方法为:先将晶体硅太阳能扩散时的中心温度调整为为840-850℃,时间调整为30-40min,当二氧化硅沉积时,氮气大流量为20-30SLM,氮气小流量为10...
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