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第一TFT(9A)包括：氧化物半导体的第一半导体层(17a)、在第一半导体层(17a)上隔着第一栅极绝缘膜(18a)设置的第一栅极电极(19a)、覆盖第一栅极电极(19a)的氧化硅膜的第一层间绝缘膜(20)、以及第一层间绝缘膜(20)上的氮...
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