下载一种选择性发射极工艺过程漏电的测试方法的技术资料

文档序号:40580727

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本发明属于光伏技术领域,涉及一种选择性发射极工艺过程漏电的测试方法。所述测试方法包括如下步骤:(1)采用SE激光掺杂工艺对经扩散处理后的硅片表面进行双面掺杂,在所述硅片的双面形成特定的测试图形;(2)对所述硅片进行清洗、烘干处理;(3)在所...
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