下载一种探头装置、二次电子探测器及扫描电镜的技术资料

文档序号:40580400

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本发明涉及扫描电镜技术领域,公开了一种探头装置、二次电子探测器及扫描电镜,二次电子探测器包括:偏压供电电路、放大电路及探头装置,探头装置包括:探头片、探头板及密封圈;探头片为半弧形结构,其外表面与探头板的第一端固定连接;探头板的第二端与探头...
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