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包括虚拟字线和在接合区处的P-N结的三维存储器器件及其制造方法技术
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下载包括虚拟字线和在接合区处的P-N结的三维存储器器件及其制造方法的技术资料
文档序号:40579919
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一种三维存储器器件,该三维存储器器件包括:第一绝缘层和第一导电层的第一交替堆叠,该第一交替堆叠定位在半导体材料层上方;层间介电层;以及第二绝缘层和第二导电层的第二交替堆叠,该第二交替堆叠定位在该层间介电层上方。存储器开口竖直延伸穿过该第二交...
该专利属于桑迪士克科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑迪士克科技有限责任公司授权不得商用。
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