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为了提高曝光装置的生产量，提供一种相对于物体曝光与描绘数据对应的、由空间光调制器生成的图案光的曝光装置，该曝光装置具备：向所述空间光调制器照射照明光的照明光学系统；向所述物体投影所述图案光的投影光学系统；保持所述物体的第1移动体，其配置在所...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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