下载氧化层钝化接触制备工序的钝化性能检测方法及钝化片的技术资料

文档序号:40576740

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本申请提供成本低、可避免钝化片发黑的氧化层钝化接触制备工序的钝化性能检测方法,包括:提供第一预制硅片;第一次单面镀膜,得到第二预制片;非镀膜面绕镀清洗,第二预制片送入磷硅玻璃刻蚀机台,采用混酸溶液洗去非镀膜面上的绕镀,得到第三预制片;第二次...
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