下载精密气浮条上浮高度测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:40576318

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本申请提供一种精密气浮条上浮高度测量装置及测量方法。精密气浮条上浮高度测量装置包括:限位结构和测量结构,限位结构设置有沿竖直方向延伸的上浮通道,且限位结构的侧部设置有对应上浮通道的可视窗口;测量结构的至少部分对应设置在可视窗口,且测量结构对...
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