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本发明涉及抛光设备技术领域，公开了一种组合抛光工艺，包括对石英板表面采用摆动磨头进行抛光，以形成基础面层；对基础面层采用平面磨头进行抛光，以形成上光面层。此外，本发明还公开了一种基于组合抛光工艺的加工设备。本发明能在确保抛光效率的同时，避免...
该专利属于科达制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科达制造股份有限公司授权不得商用。

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