下载一种金刚石衬底的高精度修复方法的技术资料

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一种金刚石衬底的高精度修复方法,包括以下步骤:(1)对粗磨过的金刚石衬底表面进行酸煮,然后用去离子水清洗表面;(2)在金刚石衬底表面沉积对金刚石和碳基材料转化具有催化作用的材料;(3)利用高能电子束流为热源,对步骤(2)沉积催化材料后的金刚...
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