下载一种工艺检测方法、系统及电路的技术资料

文档序号:40574792

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本发明提出一种工艺检测方法、系统及电路,对第一样本进行工艺检测,得到工艺检测电压;对所述第一样本进行参考电压生成处理,得到工艺参考电压;对所述工艺检测电压和所述工艺参考电压,分别进行差分量化,得到样本工艺码;确定所述第一样本的工艺角偏离程度...
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