温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及一种测量装置及晶圆测量系统，测量装置包括固定组件、活动组件及测量组件，固定组件用于连接至移载装置，活动组件设置于固定组件，并能够相对于固定组件运动；测量组件相对于活动组件固定，测量组件能够运动至测量基准面平行于陶瓷盘的方位。该测量...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。