温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种静电卡盘边缘清洁装置，所述静电卡盘至少包括用于承载晶圆的载物台以及设置于所述载物台外侧的环状台阶结构，所述边缘清洁装置包括：载体，其被配置为在进行清洁时放置于所述载物台上；静电吸附组件，其设置于所述载体背离所述载物台的一侧，通...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。