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本技术提供一种光罩吹扫装置，所述光罩吹扫装置用于清洁光罩表面，其包括：支架、吹扫枪及转动机构；其中，所述吹扫枪位于所述光罩上侧，其喷射的气流的流向与所述光罩表面呈一夹角，所述转动机构固定设置在所述支架上，并与所述吹扫枪直接或间接连接，所述转...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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